锆钛酸铅铁电薄膜制备方法

　　本发明提供了一种锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法，前驱多体溶液由硝酸锆、钛酸四丁酯、醋酸铅、醋酸、去离子水和氨基酸组成。凝胶膜由匀胶机将滴到基片上的前驱体溶液甩胶形成，然后在快速退火炉中分段升温进行热处理，重复上述过程，直至得到所需厚度的薄膜
材料。该薄膜材料具有良好的铁电特性，在5V偏压下的剩余极化可达10μＣ／cm2，适用于做动态随机存储器或非挥发性存储器。

信息来源：佛山陶瓷