钛酸锶钡薄膜制备方法

　　本发明提供了一种钛酸锶钡薄膜材料的制备方法。其过程是：将醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁酯、醋酸和乙酰丙酮以一定的摩尔比相混合配制成稳定的前驱体溶液，然后在Pt／Ti／Si02／Si基片上进行匀胶、热处理，在热处理过程中同时对薄膜施加辅助电场，重复上述过程，直到理想的厚度为止。本发明通过将每层凝胶膜热处理后的厚度控制在8-20nm，实现异质成核、同质外延生长，从而形成大尺寸柱状晶粒的薄膜材料。本发明的薄膜材料可适于动态随机存储器、室温红外焦平面列阵等方面的应用。

信息来源：佛山陶瓷